В сложном мире производства полупроводников, где манипулирование материей происходит на атомном уровне, ионная имплантация является краеугольным камнем технологии. Этот процесс, в ходе которого кремниевые пластины подвергаются точной бомбардировке легирующими ионами для настройки их электрических свойств, основан на важной отправной точке: создании чистого, стабильного ионного пучка. В основе источника ионов-двигателя этой сложной системы- лежит компонент, обеспечивающий устойчивость в экстремальных условиях: вольфрамовая нить.
Эта скромная спиральная проволока на самом деле является чудом материаловедения. Среда для ионной имплантации крайне враждебна: она сочетает в себе палящее тепло, коррозионные химические вещества таких газов, как BF₃ или PH₃, и постоянную бомбардировку частицами. Нить накала, часто служащая катодом, должна быть нагрета до накала, чтобы испустить электроны, необходимые для зажигания и поддержания плазмы. Неисправность здесь приводит к нестабильности пучка, металлическому загрязнению и дорогостоящему простою производства.
Почему вольфрам преобладает в этой роли? Ответ кроется в его беспрецедентных свойствах:
Устойчивость к экстремальным температурам: благодаря самой высокой температуре плавления среди всех металлов (3422 градуса) вольфрамовая нить сохраняет структурную целостность, когда другие выходят из строя.
Превосходная стойкость к распылению: он противостоит эрозии в результате плазменной бомбардировки, обеспечивая более длительный срок службы и более чистые ионные лучи.
Превосходная эмиссия электронов: его термоэмиссионные свойства идеальны для создания постоянного потока электронов, необходимого для стабильной генерации плазмы, особенно в источниках с катодом косвенного нагрева (IHC).
Потребности в чипах следующего-поколения, в том числе для силовых устройств из карбида кремния (SiC) и нитрида галлия (GaN), продвигают технологию имплантации дальше. Это порождает потребность в еще более надежных и высокопроизводительных компонентах источника. Вольфрамовая нить превратилась из простой проволоки в прецизионный-расходный материал, а достижения в области контроля зернистой структуры и легирования (например, оксидами редкоземельных-земельных элементов) повысили ее долговечность и эффективность выбросов.
Для поиска этих-важнейших компонентов требуется партнер с глубоким металлургическим опытом и приверженностью точности. На протяжении более двух десятилетий компания Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd (с 2004 г.) пользуется доверием в области производства современных тугоплавких металлов. Специализируясь на продуктах из вольфрама и молибдена, компания Kingdon предлагает материалы высокой-чистоты, стабильно производимые, необходимые для таких сложных задач, как ионная имплантация.
Инженерам и специалистам по закупкам, которым нужны надежные компоненты для источников ионов, в том числе высокоэффективные вольфрамовые нити, компания Zhuzhou Kingdon предлагает проверенный опыт и передовые технологии производства.
Чжучжоу Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd (с 2004 г.)
Добавить: Дорога №9 Чжунда, Индустриальный парк высоких-технологий, Чжучжоу, Хунань, Китай.
Тел.: +86-731 28470377 / 22868227.
Факс: +86-731 28410491
Интернет:www.kdmet.com
